Halbleiterindustrie
Trocknung von Halbleitermaterialien sanft und schonend unter Vakuum
Höchster Reinheitsgrad durch bewegungslose Trocknung oder Filtertechnik (FDA konform)
Umweltschonende und energiesparende Trocknung durch Prozesse unter Vakuum
Halbleiterindustrie
Trocknung von Halbleitermaterialien
Im Maschinenbau begegnen auch wir immer häufiger dem Schlagwort „High Purity“. Dank erstklassiger Kompetenz und Erfahrung im Bereich „Trocknung von Halbleitermaterialien“ ist es uns möglich eine Lösung vorzustellen: Die Vakuumtechnik in Kombination mit einem Infrarotheizsystem ermöglicht ein bewegungsloses Trocknungssystem im Reinraum – es findet kein Austausch mit der Umgebungsluft statt. Dadurch werden Verunreinigungen gezielt vermieden. Zusätzlich lassen sich entsprechende Anbauteile und oder weitere Filtersysteme adaptieren.
Bei den meisten Trocknertypen erfolgt zuerst die Evakuierung der Vakuumkammer und im Anschluss das Hinzufügen der Fremdenergie mittels einer Infrarotquelle. Dadurch wird die zu trocknende Flüssigkeit schon bei niedrigen Temperaturen in eine dampfförmige Phase übergehen und somit verdampfen. Hierdurch wird eine homogene und sanfte Trocknung unter Vakuum erzielt.
Unsere Vakuumtrockner und Trockenschränke sind speziell für diese Bauteile und Kundenanforderungen ausgerichtet. Wir bieten von einer Standardlösung bis hin zu Sonderlösungen das gesamte Spektrum an.
Interesse geweckt?
Wenn Sie Fragen zu unseren Dienstleistungen haben oder ein individuelles Angebot erhalten möchten, können Sie sich gerne bei uns melden! Rufen Sie einfach unter +49-2871-21927-0 an und wir beraten Sie persönlich. Oder Sie schreiben uns einfach eine Mail an info@meier-prozesstechnik.de.
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